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塵埃粒子計(jì)數(shù)器的介紹與發(fā)展

2015-01-20 09:20:19 admin
空氣中顆粒物污染是許多行業(yè)生產(chǎn)及加工工藝中主要的污染來源,準(zhǔn)確評(píng)價(jià)空氣潔凈度已經(jīng)成為許多行業(yè)生產(chǎn)和產(chǎn)品檢測的要求。如在電子行業(yè)及芯片制造工業(yè)中,氣體中微小顆粒物的沉積就會(huì)造成電氣不良特性甚至更大的破壞。特別是近年來芯片線寬已經(jīng)達(dá)到微米和亞微米級(jí),這 就對廠房內(nèi)的空氣潔凈度提出了更高的要求。

 

    另外,在現(xiàn)代醫(yī)學(xué)與藥物及生物工程中,包括我國在內(nèi)的世界各國制定實(shí)施的“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范GMP”中也著 重對藥品生產(chǎn)過程中空氣中的顆粒物潔凈度提出了要求。特別是隨著《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要》的貫徹執(zhí)行,作為16個(gè)重大發(fā)展專項(xiàng)的核心電子器 件、高端通用芯片、重大新藥創(chuàng)制將會(huì)得到快速發(fā)展,這就使得顆粒計(jì)數(shù)測量和監(jiān)測變得更加迫切。

  塵埃粒子計(jì)數(shù)器就是用于測量潔凈環(huán)境中單位體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器。它可廣泛應(yīng)用于為藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質(zhì)量監(jiān)督所等權(quán)威機(jī)構(gòu),以及生物、制藥、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機(jī)械加工等生產(chǎn)企業(yè)。

  據(jù)估計(jì),我國現(xiàn)有的塵埃粒子計(jì)數(shù)器生產(chǎn)廠家有10余家,國內(nèi)使用的臺(tái)件數(shù)量應(yīng)不少于3萬臺(tái),這些廠家及用戶具有很強(qiáng)烈的校準(zhǔn)檢測需求。要保 證空氣中塵埃顆粒測量的準(zhǔn)確性,首先需要確保塵埃粒子計(jì)數(shù)器本身的準(zhǔn)確和可溯源。中國計(jì)量院完成的這項(xiàng)研究,建立了標(biāo)準(zhǔn)粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)裝置,實(shí)現(xiàn)了對標(biāo)準(zhǔn)粒子計(jì)數(shù)器的粒子計(jì)數(shù)示值誤差、粒徑檔設(shè)定相對誤差、粒徑測量分辨力校準(zhǔn)項(xiàng)目的檢定和校準(zhǔn),不確定度為6.0%(k=2),優(yōu)于國外相同計(jì)量校準(zhǔn)裝置的技術(shù)水平。同時(shí),他們還建立了工作級(jí)粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)裝置,實(shí)現(xiàn)對工作級(jí)(實(shí)驗(yàn)室用、便攜式)粒子計(jì)數(shù)器粒子計(jì)數(shù)示值誤差的有效校準(zhǔn)。